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Eulitha

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瑞士光刻公司,围绕其专利的位移塔尔博特光刻(DTL)技术,为光子制造提供光刻设备与图形化解决方案。

最近更新 2026年9月16日

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概览

Eulitha 是一家瑞士光刻公司,为光子制造生产光刻设备与解决方案。公司成立于 2006 年,围绕其专利的位移塔尔博特光刻(DTL)技术构建工具平台与图形化解决方案,用于高分辨率、低成本地制作周期性纳米结构。公司创立之初的理念是开发新型光学光刻技术,以低成本在大面积上对周期性纳米结构进行图形化,服务于新兴应用,推动增强现实(AR)、电信、激光和生物传感器等领域的器件发展。公司总部位于瑞士苏黎世附近的韦伦洛斯(Würenlos),设有主要设备生产设施以及硬件/软件开发实验室;此外还在美国华盛顿州雷德蒙德(西雅图附近)和中国北京设有办公室。

沿革

Eulitha 成立于 2006 年。公司创立之初的理念是开发新型光学光刻技术,以低成本在大面积上对周期性纳米结构进行图形化,服务于新兴应用。公司为光子制造生产光刻设备与解决方案,构建新的工具平台并探索创新的图形化解决方案以匹配不断发展的市场需求,其基础是受知识产权保护的位移塔尔博特光刻技术。公司总部位于瑞士苏黎世附近的韦伦洛斯(Würenlos),设有主要设备生产设施以及硬件/软件开发实验室。公司还在美国华盛顿州雷德蒙德(西雅图附近)设有美国办公室,专注于设备工程与现场支持,服务北美客户与市场;并在中国北京设有中国办公室,提供本地化支持并推动区域增长。

产品与定位

其官网称其为光子制造领域高质量光刻解决方案的全球领导者。

  • 光刻设备

    Eulitha 为光子制造生产光刻设备与解决方案。

  • 光刻服务

    通过位于瑞士和中国的示范设施,客户可获得图形化解决方案,所有光刻图形化步骤均在内部完成,从光掩模设计到最终在光刻胶中成像。

  • 标准图形

    Eulitha 利用其内部光掩模库按订单提供大量标准图形,可作为硅或熔融石英晶圆上的刻蚀产品,也可作为客户自有晶圆上的光刻胶图形。

近期事件

  • Eulitha推出PhableX光刻系统[5]

    Eulitha推出面向光子器件批量生产的PhableX光刻系统系列。该平台基于全新开发的系统,可实现高吞吐量自动化运行。

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来源5 个来源

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