EVATEC 股份公司

EVATEC AG 是一家总部位于瑞士的薄膜生产设备与工艺技术供应商。根据其公司简介，其渊源可追溯至1946年的 Balzers AG 公司，拥有约80年的薄膜工艺技术积累。公司自称“薄膜领域的强者”（The Thin Film Powerhouse），其系统用于生产先进半导体、光电子与光子学应用、MEMS 器件及其他高科技产品。 Evatec 的核心业务是开发与制造薄膜沉积和刻蚀设备，以及客户在生产中所需的工艺配方与支持服务。其平台将刻蚀与沉积技术同先进工艺控制相结合，以实现高良率和低拥有成本。公司服务范围覆盖从研发到大规模制造的客户，并拥有全球销售与服务组织。 产品组合包括 BAK 系列蒸发设备、用于 PZT 沉积等应用的 CLUSTERLINE® 200 平台，以及面向面板级封装和 LED 制造的其他系统。Evatec 还运营 Evatec 能力实验室（ECL），为客户提供薄膜镀膜与表征服务，用于技术开发、原型制作、小规模生产和质量控制。 Evatec 的终端市场涵盖通信网络、智能设备、电动与自动驾驶汽车、医疗系统和工业电子。公司重点提及 6G 移动网络、用于增强现实可穿戴设备的 Micro LED 技术，以及面向人工智能的高性能计算等应用。公司还出版面向客户的技术杂志《LAYERS》，并发布涵盖其生态与社会责任表现的可持续发展报告。 Evatec 总部位于瑞士，面向全球销售。目前没有公开证据表明其已上市；现有资料也未指明其母公司或股票交易所。

Evatec 的历史植根于 Balzers AG 公司，公司将其认定为1946年的起源。这一传承赋予 Evatec 约80年的薄膜工艺技术积累，这也是公司在自身简介中强调的一点。在此期间，薄膜技术从专业实验室工作转变为全球创新的核心使能技术，Evatec 的业务也随之演进。 公司如今自称“薄膜领域的强者”（The Thin Film Powerhouse），向全球客户提供薄膜生产工具与工艺。其系统用于制造先进半导体、光电子与光子学应用以及 MEMS 器件。Evatec 的平台将刻蚀与沉积技术同先进工艺控制方法相结合，以高良率和低拥有成本支持生产。 Evatec 技术身份的重要部分是其对锆钛酸铅（PZT）物理气相沉积的长期投入，该材料在 MEMS 行业已使用超过15年。Evatec 交付了首批 PZT 设备并建立了早期行业合作，并持续支持客户将 PZT 工艺产业化，应用于越来越多的领域。微扬声器、微镜和空气冷却系统等领域为 PZT 带来了新的动力。Evatec 基于 CLUSTERLINE® 200 平台的专用 PZT 工艺套件，可满足高极化、强压电响应、低晶圆应力、低漏电流、低介电损耗和高抗疲劳性等严苛工艺要求。 CLUSTERLINE® 200 平台本身是旗舰产品，以其灵活架构、多种工艺技术和从研发到大规模生产的成熟制造性能而推广。Evatec 的产品系列还包括 BAK 系列蒸发设备（尺寸从0.5起）以及面向面板级封装和 LED 制造的系统。 除设备外，Evatec 还运营 Evatec 能力实验室（ECL），提供薄膜镀膜与表征服务。在 Philip Zeller 的领导下，ECL 扩展了服务范围，不仅帮助客户进行技术开发和原型制作，还支持其日常业务中的小规模生产和质量控制。 Evatec 通过其《LAYERS》杂志与客户及行业沟通，内容涵盖 PZT、面板级封装和用于电动汽车的 LED 技术等主题。公司还发布了可持续发展报告，第二份报告涵盖2025报告年度，介绍其以透明、可衡量且面向未来的方式融入生态与社会责任的努力。 Evatec 总部位于瑞士，服务全球客户。其终端市场包括通信网络、智能设备、电动与自动驾驶汽车、医疗系统和工业电子。公司重点提及 6G 移动网络、用于大众市场增强现实可穿戴设备的 Micro LED 技术，以及面向人工智能的高性能计算等应用。现有证据未表明 Evatec 已上市，也未指明其母公司。

• 2026

  Evatec 发布第二份可持续发展报告，涵盖2025报告年度。

• 2026

  发布 CLUSTERLINE® 200 平台的新视频。

• 2026

  出版《LAYERS 9》，涵盖 PZT、面板级封装和用于电动汽车的 LED 技术。

• 2025

  Evatec 能力实验室（ECL）扩展服务，覆盖技术开发、原型制作、小规模生产和质量控制。

• 1946

  源自 Balzers AG 公司。

面向先进半导体、光电子、光子学与MEMS制造的高科技薄膜工艺与设备供应商，覆盖从研发到大规模生产。

• CLUSTERLINE® 200

  旗舰平台，结合灵活架构、多种工艺技术与成熟制造性能，支持从研发到大规模生产的创新。它是 PZT 生产的基础。

• BAK 系列蒸发设备

  灵活的蒸发设备系列，尺寸从0.5起。

• PZT 工艺套件

  专用套件，包含精心选择、掺杂水平受控的陶瓷靶材、用于大靶材直径的射频源和优化的硬件设计，可在超过500摄氏度的温度下实现稳定的日常生产。

• Evatec 能力实验室（ECL）

  服务实验室，提供薄膜镀膜与表征服务，用于技术开发、原型制作、小规模生产和质量控制。

1. 1Evatec AG - The Thin Film Powerhouseevatecnet.com
2. 2Evatec Company Profile | Thin Film Technology, Markets and Global Locationsevatecnet.com
3. 3LAYERS 9 – PZT a long history and an exciting futureevatecnet.com
4. 4ECL – Supporting customers with thin film coating & characterization servicesevatecnet.com
5. 5EVATEC AGwikidata.org