FSI国际

FSI International, Inc. 是一家美国半导体设备制造商，总部位于明尼苏达州查斯卡。该公司提供用于微电子制造（尤其是半导体器件）的加工系统及相关服务。其设备用于硅晶圆在器件生产各阶段之间必须进行清洗、干燥、化学处理或其他准备的制造步骤。 公司的根源可追溯至Fluoroware, Inc.，该公司成立于1966年，生产在半导体加工过程中固定硅晶圆的夹具。Fluoroware的工作使其负责人接触到晶圆制造的实际需求。在客户要求公司设计干燥设备后，负责人于1973年创立了FSI International，以将该设备商业化。FSI随后将其产品组合从晶圆处理和干燥相关产品扩展到更广泛的微电子制造商工艺设备。 FSI的产品组合包括湿法清洗系统、低温处理设备、浸泡系统、喷雾清洗系统和单片清洗系统。它还提供基于光刻胶处理方法的微光刻系统。除了新设备外，该公司还提供升级、替换设备和支持服务，使半导体制造商能够扩展或修改已安装的系统。与该公司相关的产品系列包括ZETA、ORION、ANTARES、POLARIS和MERCURY，而早期系列包括SATURN、TITAN和NEPTUNE。 在1990年代，FSI从其俯瞰Hazeltine湖的原始工厂迁至查斯卡附近一个更大的地点。此次搬迁反映了其不断扩大的制造和工程运营的规模和技术要求。1999年，FSI宣布达成收购YieldUP International Corp.的协议，该交易旨在扩大其在半导体加工设备领域的地位。 在东京电子于2012年10月收购FSI International, Inc.后，FSI不再作为独立公司运营。被收购的业务更名为TEL FSI，并成为东京电子半导体生产设备活动的一部分。因此，FSI名称在后续组织背景下得以保留，但独立的FSI International企业品牌不再独立运营。2024年底，与MERCURY产品线相关的资产和制造权被出售给Shellback。因此，FSI International最好被理解为一个历史性的半导体设备公司，其技术和产品活动通过后续所有权和特定资产转让得以延续。

FSI International起源于Fluoroware, Inc.，该公司成立于1966年，生产在半导体制造过程中固定硅晶圆的夹具。这些夹具旨在确保晶圆在制造微电子器件所需的众多化学、热、清洗和涂层操作中保持正确位置。Fluoroware参与半导体制造问题导致了一个进一步的设备机会，当客户要求干燥设备时。 为了响应这一要求，Fluoroware的负责人于1973年成立了FSI International，以销售新的干燥产品。FSI逐渐扩展到干燥相关设备之外，成为微电子制造多个阶段使用的系统供应商。其活动包括通过湿化学、低温技术和其他工艺方法进行晶圆清洗。该公司还生产用于喷雾清洗、单片清洗和浸泡清洗的设备，以及涉及光刻胶工艺的微光刻系统。 公司通过升级、替换设备和相关服务支持其安装基础。这种工艺工具制造和生命周期支持的结合在半导体生产中非常重要，因为设备通常要经过多代技术，并且必须适应不断变化的工艺要求。FSI的主要产品系列包括ZETA、ORION、ANTARES、POLARIS和MERCURY。早期产品系列包括SATURN、TITAN和NEPTUNE。 随着业务增长，FSI在1990年代从其俯瞰Hazeltine湖的原始工厂迁至附近一个更大的地点。公司仍以明尼苏达州查斯卡为基地，该地是其主要的制造和企业中心。1999年，FSI宣布达成收购YieldUP International Corp.的协议，此举扩大了其在半导体加工设备领域的参与。 主要的公司转折点出现在2012年10月，当时东京电子收购了FSI International, Inc.。交易完成后，该业务更名为TEL FSI。这结束了FSI作为独立公司的存在，同时将其技术活动保留在东京电子更广泛的半导体生产设备组织中。因此，FSI身份作为后续部门而非独立的上市或私营运营公司继续存在。 个别产品线的后续历史也超出了原公司。2024年底，MERCURY系列的资产和制造权被出售给Shellback。FSI International现在主要是一个与半导体清洗及相关工艺设备相关的历史公司名称，而其部分技术、产品系列、人员或制造权在后续所有权下继续存在。

• 2024

  MERCURY系列转让给Shellback

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  Shellback收购了与MERCURY产品线相关的资产和制造权。

• 2012

  被东京电子收购

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  东京电子于10月收购FSI International，并将该业务更名为TEL FSI。

• 1999

  宣布YieldUP收购协议

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  FSI宣布达成收购YieldUP International Corp.的协议。

• 1990

  迁至更大的查斯卡工厂

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  在1990年代，随着运营扩展，公司从其原始的Hazeltine湖地区工厂迁至附近一个更大的地点。

• 1973

  FSI International成立

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  Fluoroware的负责人成立FSI International，以商业化一种为半导体制造应用开发的干燥设备。

• 1966

  Fluoroware成立

  [1]FSI Internationalen.wikipedia.org

  Fluoroware是FSI International的前身企业，开始生产用于半导体加工过程中固定硅晶圆的夹具。

半导体和微电子制造工艺设备及生命周期服务的专业供应商，特别专注于晶圆清洗、干燥、化学处理、低温处理及相关光刻操作。

• 晶圆加工设备系列

  ZETA

  ZETA是FSI International的主要设备系列之一。它是该公司半导体和微电子制造系统组合的一部分，与其他清洗和化学处理平台并列。现有参考资料仅确认该系列，但未提供详细规格或其个别型号的完整时间线。

• 晶圆加工设备系列

  ORION

  ORION是FSI International的主要产品系列之一，与公司的半导体加工设备组合相关。FSI提供用于晶圆清洗及相关工艺步骤的系统，但现有参考资料未区分每个ORION型号的具体配置、化学或市场细分。

• 晶圆加工设备系列

  ANTARES

  ANTARES是FSI International生产的命名设备系列之一。它属于服务于微电子制造的更广泛组合，FSI的系统满足清洗和其他晶圆加工要求。所提供来源未确定详细产品规格和发布日期。

• 晶圆加工设备系列

  POLARIS

  POLARIS是FSI International的命名设备系列。它是公司半导体制造系统家族的一部分，包括湿法、低温和其他化学处理技术。现有材料未提供该系列的进一步技术或商业细节。

• 晶圆清洗和加工设备系列

  MERCURY

  MERCURY是FSI International的主要设备系列之一，直到2024年底仍与公司相关。该系列的资产和制造权被出售给Shellback，使其成为FSI产品活动通过后续所有者延续的最清晰例子。

• 早期晶圆加工设备系列

  SATURN

  SATURN是FSI International早期的加工系统系列。它是公司历史组合的一部分，早于后来的ZETA、ORION、ANTARES、POLARIS和MERCURY系列。现有参考资料未提供进一步的产品规格。

• 早期晶圆加工设备系列

  TITAN

  TITAN是FSI International早期的加工系统系列，用于公司的历史半导体设备组合。所提供材料仅确认名称，但未指定其技术架构、发布日期或继承关系。

• 早期晶圆加工设备系列

  NEPTUNE

  NEPTUNE是FSI International早期的加工系统系列之一。它代表了公司在半导体和微电子设备产品历史的早期阶段。所提供来源中未提供具体能力和商业日期。

• 2024

  MERCURY资产和制造权转让并购

  背景

  MERCURY产品线在整合到东京电子后，仍是前FSI业务的一个可识别部分。

  采取的行动

  2024年底，Shellback收购了MERCURY资产和制造权。

  后续影响

  该转让将MERCURY系列及其制造权的责任移交给Shellback。可用来源未描述交易价值或更广泛的战略影响。

  来源

• 2012

  将FSI International出售给东京电子并购

  背景

  FSI International作为半导体制造设备供应商运营时，东京电子寻求收购该公司。

  采取的行动

  东京电子于2012年10月收购FSI International，并将被收购的业务更名为TEL FSI。

  后续影响

  FSI不再作为独立公司运营，而其活动在东京电子组织内以TEL FSI名称继续。

  来源

• 1999

  达成收购YieldUP国际的协议并购

  背景

  FSI International正在扩大其半导体加工设备活动，并寻求通过涉及YieldUP International Corp.的交易来扩大其地位。

  采取的行动

  FSI宣布达成收购YieldUP International Corp.的协议。

  后续影响

  所提供参考资料确认了已宣布的协议，但未提供交易价值、完成细节或后续运营结果。

  来源

1. 1FSI Internationalen.wikipedia.org