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Holon株式会社

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一家日本公司,专注于半导体制造中基于电子束的尺寸测量和缺陷检查设备。

最近更新 2026年9月2日

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概览

HOLON是一家日本公司,开发和销售用于半导体制造中掩模和晶圆尺寸测量和缺陷检查的电子束设备。它成立于1985年,于2018年成为A&D的合并子公司,后于2022年与A&D整合,成为A&D Holon Holdings的直接出资公司。

沿革

HOLON于1985年5月在东京新宿成立。1986年开发并发布了首台电子束微小尺寸测量设备(ESPA-11)。多年来,它发布了后续型号并拓展国际业务,于2004年开设韩国支店,2023年开设台湾支店。2005年在JASDAQ上市。2018年成为A&D的合并子公司。2022年与A&D整合,成为A&D Holon Holdings的直接出资公司,后者在Prime市场上市。2025年开设了Holon Mega-Fab。

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