JSW Aktina System株式会社
日本激光退火与激光加工设备制造商，服务于半导体及平板显示器制造，2021年从日本製钢所分拆成立。
最近更新 2026年9月26日
AI 爬虫读取
1次请求
1家公司- Anthropic1
- 词条页
- 1
- 争议页
- 0
- JSON · MD
- 0
- 首次读取
- 2026年11月5日
- 最近读取
- 2026年11月5日
数据来自本站服务器日志
概览
JSW Aktina System株式会社是一家日本制造商，生产用于半导体及平板显示器制造的激光工艺设备。公司总部位于神奈川县横滨市，是日本老牌工业机械集团——株式会社日本製钢所（JSW）的全资子公司。其产品组合以YIELDSCAN品牌的激光退火系统为核心，并包括YIELDEdGE和YIELDvia等激光加工设备，用于先进器件制造中的结晶化、活化、硅化物化、剥离及微孔加工等工艺。 公司的渊源可追溯至日本製钢所的平板显示器设备业务，该业务于1995年开始生产准分子激光退火（ELA）设备。此后数十年间，JSW陆续出货多代ELA设备，并拓展至功率半导体、图像传感器及柔性显示器的激光退火领域。2021年10月，JSW IT服务株式会社承继日本製钢所的平板显示器业务，并更名为JSW Aktina System株式会社，确立了现有实体。同时，作为其全资子公司，在中国设立了日製鋼機電商貿（上海）有限公司。 JSW Aktina System的旗舰产品包括用于硅化物化、活化、微激光退火及准分子激光退火的YIELDSCAN系列激光退火系统，以及YIELDEdGE薄膜激光切割系统和YIELDvia激光微孔加工系统。公司表示，其准分子激光退火设备在全球范围内用于智能手机和个人电脑等高精细面板的生产，并于2025年出货了全球首台第8.6代准分子激光退火系统。其产品定位为现代功率半导体节能化、小型化以及先进显示器制造的关键使能设备。 公司主要在日本和中国开展业务，并通过中国子公司进行销售和服务活动。其客户群包括半导体和显示器制造商，并参加ICSCRM、离子注入与退火技术（IIT）等行业会议。作为日本製钢所的子公司，JSW Aktina System在专注于电子制造激光工艺技术的同时，受益于母集团的工程传承和工业资源。
沿革
JSW Aktina System的历史与日本製钢所（JSW）的工业机械及平板显示器设备业务紧密相连。日本製钢所于1907年由北海道炭礦汽船株式会社、英国阿姆斯特朗·惠特沃斯公司（Sir W.G. Armstrong, Whitworth & Co., Ltd.）和维克斯公司（Vickers Sons and Maxim, Ltd.）三家公司共同出资设立。1936年，JSW横滨制作所在横滨市金泽区泥龟町竣工并开始运营。1983年，横滨制作所迁至现址金泽区福浦。 JSW于1995年进入激光退火设备领域，开始生产准分子激光退火（ELA）装置并出货首台设备。准分子激光退火是将玻璃基板上的非晶硅改质为多晶硅的关键工艺，对于制造高分辨率液晶显示器和AMOLED面板至关重要。2006年，JSW成立了JSW IT服务株式会社，作为准分子激光退火设备业务的售后服务公司，同年ELA装置累计出货达到100台。2011年，公司推出了G5/G6准分子激光退火装置，以应对更大的玻璃基板尺寸。 2014年，日本製钢所的中国法人JSW Machinery Trading (Shanghai) Co., Ltd.开始在中国开展准分子激光退火设备的销售和服务活动。2019年，准分子激光退火装置累计出货达到200台。2021年10月，JSW IT服务株式会社承继日本製钢所的平板显示器业务，并更名为JSW Aktina System株式会社。同时，作为其全资子公司，在中国设立了日製鋼機電商貿（上海）有限公司。2025年，公司出货了全球首台第8.6代准分子激光退火装置。 如今，JSW Aktina System继续开发和制造用于半导体及显示器应用的激光退火和激光加工设备，包括硅化物化、活化、微激光退火、激光剥离、薄膜切割和微孔加工等系统。公司以YIELDSCAN、YIELDEdGE和YIELDvia品牌销售产品，并参加ICSCRM、IIT等行业会议。
- 2025
出货全球首台第8.6代准分子激光退火装置。
- 2021
10月，JSW IT服务株式会社承继日本製钢所的平板显示器业务，并更名为JSW Aktina System株式会社；成立全资中国子公司日製鋼機電商貿（上海）有限公司。
- 2019
准分子激光退火装置累计出货达到200台。
- 2014
JSW Machinery Trading (Shanghai) Co., Ltd.开始在中国开展准分子激光退火设备的销售和服务活动。
- 2011
推出G5/G6准分子激光退火装置。
- 2006
成立JSW IT服务株式会社作为准分子激光退火设备业务的售后服务公司；ELA装置累计出货达到100台。
- 1995
开始生产准分子激光退火装置并出货首台设备。
- 1983
横滨制作所迁至现址金泽区福浦。
- 1936
横滨制作所在横滨市金泽区泥龟町竣工并开始运营。
- 1907
日本製钢所由北海道炭礦汽船、阿姆斯特朗·惠特沃斯公司和维克斯公司共同出资设立。
产品与定位
半导体及平板显示器制造领域先进激光退火与激光加工设备的专业供应商，依托独特的高功率气体激光控制技术，宣称具备行业领先性能及世界首创产品技术。
YIELDSCAN（硅化物化用激光退火装置）
对SiC晶圆上成膜的金属膜进行硅化物化的装置，利用高功率气体激光控制技术实现行业领先的均质化和高速扫描。用于功率半导体制造。
YIELDSCAN SLA（活化用激光退火装置）
用于半导体器件制造中仅提高表面局部温度的热处理工艺，主要用于高功能图像传感器的量产活化。
YIELDSCAN MLA（微激光退火装置）
通过掩模图案控制的微光束照射基板，可在不加热基础基板的情况下，对微米级微小区域的薄膜进行结晶化、活化、高介电化等改质。
YIELDSCAN ELA（准分子激光退火装置）
将玻璃基板上成膜的非晶硅改质为多晶硅的装置，在全球范围内用于智能手机和个人电脑等高精细面板的生产。
YIELDSCAN LLO（激光剥离装置）
通过激光照射剥离载体玻璃上形成的柔性显示器的装置，使用短波长紫外激光以防止对器件的损伤。
YIELDEdGE FLC（薄膜激光切割装置）
可对薄膜和片材进行切割、剥离、清洗等多种工艺处理的装置，主要用于柔性显示器制造。
YIELDvia ELD（激光微孔加工装置）
对树脂、玻璃等各种材料进行高精度激光热处理的装置，可实现局部热处理，广泛用于电子器件制造及各工业领域。
来源5 个来源
引用本词条: 请引用规范词条页。 /brand-wiki/jsw-aktina-system-co-ltd · 编辑方针 · 词条如何编纂